当然此时这帮人心头在痒也没用,毕竟这份资料还是属于别人的,他们唯一能做的只是继续往下研究。
紧跟着资料中介绍的是euv光源辐射能的收集问题。
介于euv光源发出的辐射波长极短,物质对其的吸收十分强烈,所以完全无法使用之前的透射式光学系统对辐射进行收集,所以这也的确是euv光刻技术的一大难点,不过他们研发的掠入射式光源收集系统已经基本上快要解决这个问题。
接下来在研究这份资料给出的方案时,尼康的研发人员发现这份资料给出的方案其实跟他们的研究非常近似,却又更加完善。一些微小的细节,能更好的解决这套系统在euv光源的短波长下引发的光学问题。
这无疑给了他们新的思路跟启示。可就在他们甚至忘记了时间流逝,一边不停探讨一边津津有味的看到最关键的地方时,尼玛,这些能容竟然再次被直接的胡乱掩盖掉了!
没错,就在最关键最让人期待的时候,资料上只剩下一排排参差不齐的粗黑杠!那些重要的内容全部被埋在了黑杠之下!这还当真是——坑爹啊!
对这帮研发人员来说,这就好像一个上了年纪的男人,好不容易被一个如狼似虎的女人勾起了性趣,两人天雷地火般的进行到最关键的时候,女人一把推开男人,直接穿上裤子准备走人一样让人难以接受啊!多被这么玩弄几次,直接痿了的可能性都有啊。
甚至有人都想拿出个硬币。把那些粗黑杠掩去的地方给刮开都好。不过这毕竟不是彩票,显示器更是公家财务。刮坏了是要赔的,这才让一帮人止住了怨念。
不过这样一来也让很多人虽然明知道这份材料接下来的部分可能会更加精彩。更有价值,但是都不想继续研究下去了。这太坑人了,每次都是在最关键的部分动刀子,不带这么玩人的吧?
当然这种情绪也只能在心头抱怨。毕竟大家都是在工作,自然不能随便撂担子,不过话说回来,抛去资料关键点被粗暴的划去这一点不谈,这份资料对这些研发人员的吸引力也是极大的,起码能给他们开拓思路不是?
接下来关于如何提升光源强度等等问题都进行了详细论述。甚至在资料最后还给出了光掩模板的无瑕疵解决方案,当然最关键的部分都同样被掩盖了。
不过即便是这样也没有人敢小觑天书科技,或者说天书科技所代表的华夏在光刻机研发进程了。不过在跟研发人员一起把这些资料大概的浏览跟探讨后,山口达也完全不明白王正宇这是卖的什么药了。
有了这些技术,天书科技似乎完全有能力将自己的光刻设备生产出来。虽然新型的euv光刻技术的关键部分都被隐去,让他无法判断这些资料是否真的完全解决了这些难点。但是生产现在有的193nm沉浸式光刻技术的光刻机却是完全没有了任何技术障碍。他为什么专门找到尼康来购买光刻机设备?这人该不会是无聊到专门跑到日岛来调戏尼康的吧?
想到不久前的会面,自己似乎还激动的嘲讽过对面那个年轻人把光刻技术想的太简单了,现在看来不是他把光刻技术想的太简单了,而是自己把他想的太简单了。
两份资料带给他的震撼加上满脑子的疑问。甚至让山口达也都忘了时间。他甚至没有感觉到他竟然已经在研发部内呆了十六个小时,现在已经是第二天的清晨了。
“山口先生,关于两份材料的分析报告已经出来了。您看是不是让大家都回去休息一下了。熬了一整夜大家也都累了。”研发室的负责人藤田元一开口说道,顺便将一份整理好的材料递给了正坐在沙发上发呆的山口达也。
“哦?都一整夜了?现在几点了?”山口达也这才从沉思中回过神来。开口问道。
“已经是早上八点了?哦,好久没觉得时间过的这么快了。”山口达也感慨了句,随后道:“好了。赶紧让他们都去休息吧。不过藤田先生您恐怕还得受下累,稍微休息下。等会跟我一起到今天的董事会上做下汇报。”
“没问题。等我先安排一下今天的工作,安排好后咱们随时都能出发!”藤田元一点头答应道。
“好的。赶紧去吧,董事会九点就要开始了。麻烦藤田先生了!”山口达也点头道。
等到藤田忙完研究部的事情,两人稍事休息后,山口达也便首先带着藤田元一赶到了苅谷道郎的办公室内,简单的跟苅谷道郎将两份资料的研究结果做了一次简短汇报。
“什么?你们的意思是,凭借那两份资料就能判断华夏人在光刻技术已经完全不落后于我们了?”听完汇报的苅谷道郎表现的相当震撼,似乎整个人都不大好了,
这到可以理解,其实包括山口达也在内的研发人员们谁不震撼?无非是他们是一步一步的研究资料,心神一半被资料的内容所吸引,另一半他们的震惊程度是一个逐渐上升的过程,就好像温水煮青蛙一般,所以不像苅谷道郎直接听到结果后表现的如此失态罢了。
“实际上不落后已经是最乐观的估计了。如果第二份材料上那些被划去的关键部分,真的能够解决问题的话,那就能说明华夏人在euv光刻技术方面的研究已经超过了我们!”藤田元一用技术人一贯的严谨姿态开口道。
“超过我们?”苅谷道郎涩声道,“你是说很有可能天书科技的光刻机制造技术已经超过了我们?那么那个年轻人专门跑来尼康购买我们的s620d到底是个什么意思?”
“或者正如他说的那样,只是不想自己去浪费那个时间吧,似乎也只有这个解释!”山口达也摊了摊双手道。
苅谷道郎闭上双目沉默了片刻,稳定了心神后,才睁开眼说道:“那么实际上他只需要给我们193nm沉浸式光刻技术的资料就已经足够打动我们了,为什么还要给我们第二份资料,你们想过没有?”
“嗯?”山口达也闻言一愣,或者是一直在被两份资料中蕴含的技术所震惊着,在加上一宿未睡脑袋变的迟钝了,他竟然还真没想过这个问题,片刻后才犹豫的问道:“您的意思是?”
苅谷道郎没有直接回答山口达也的问题,而是转向藤田元一问道:“藤田先生,请你给我们一个专业的判断,您刚才描述的第二份关于euv光刻技术攻关难点的技术资料那些关键部分对我们euv光刻技术现在的研发进程有多大帮助?或者说这份资料完整版对我们尼康来说有多大价值?”
苅谷道郎的问题让藤田元一犹豫了片刻,仔细思考了一番才字斟句酌的答道:“因为关键部分被隐去,所以这个答案我不好肯定的回答。但是那份资料基本上涉及到了euv光刻技术的所有技术难点,其中很多正困扰着我们。如果说那份资料的关键部分真能完美的就解决这些问题,那我只能说拥有这份资料的完整版本,我们的新型euv光刻机将能在最晚三个月内便生产出来。”
说道这里藤田元一顿了顿,思考了片刻又继续道:“不过根据资料的前文内容,我觉得那些隐去部分可能真的是解决办法的关键。而且解决这些难点,涉及到了起码数百项还未申请过专利的技术,如果我们抢在阿思麦之前将这些技术转化为我们的专利的话,您应该明白这对尼康以为着什么。而且鉴于euv光刻技术的突破,对微电子产业的巨大推动作用,这份资料完整版的价值我真不好估量。”
“好吧!我明白了!”苅谷道郎抬起手按了按太阳穴,站起身道:“时间差不多了,今天的董事会也要开始了,跟我一起去吧。藤田元一先生,我需要您等下在董事会上做个汇报,做完汇报将你现在的分析也跟各位董事们讲一讲,辛苦了!”
“好的, 苅谷总裁!”藤田元一点了点头道。
一小时后,藤田元一在尼康董事会会议上,将一通宵的研究结果,在董事会上做了汇报,同时按照苅谷道郎的吩咐,将自己对这份资料对尼康的价值判断再次汇报了一遍。
当藤田元一的汇报完毕,整个会议室瞬间的静默后,便开始沸腾起来,除了已经得过消息的苅谷道郎跟参与了资料分析的山口达也还能保持相对平静的神色外,其他董事自然都是各种怀疑跟震惊。
毕竟尼康作为世界上仅有的两家能生产高端光刻设备的企业之一,在业内的领头地位一直是牢不可破的。现在突然蹦出个华夏的企业,竟然拥有了比他们更先进的技术,这确定不是愚人节的玩笑么?
如果不是藤田元一是尼康euv光刻设备方面的首席工程师,恐怕直接开骂的人都有了。(未完待续。。)
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